用于IR晶圓處理設(shè)備傳送帶之指?jìng)鲃?dòng)裝置以及橫向級(jí)差溫度輪廓方法本發(fā)明針對(duì)新等級(jí)的工作件轉(zhuǎn)換傳送帶系統(tǒng)與操作方法,且更重要地針對(duì)應(yīng)用指?jìng)鲃?dòng)以用于將硅晶圓實(shí)質(zhì)零質(zhì)量、少陰影地運(yùn)輸經(jīng)過(guò)處理設(shè)備的運(yùn)輸系統(tǒng),以用來(lái)將晶圓轉(zhuǎn)換成太陽(yáng)能電池,包括紫外光事先處理器、摻雜器、干燥器、擴(kuò)散爐、以及金屬化爐。本...